发明名称 SiC陶瓷颗粒表面化学镀铜方法
摘要 一种SiC陶瓷颗粒表面化学镀铜方法,首先对SiC陶瓷颗粒表面进行硝酸粗化处理,用钨粉、双氧水,无水乙醇和冰乙酸制备得到溶胶,然后将粗化处理后的SiC陶瓷颗粒泡入溶胶之中并辅以超声振荡,使在陶瓷颗粒表面形成溶胶薄层,再经干燥及氢气还原,得到镀覆钨的SiC陶瓷颗粒后,再进行化学镀铜处理。由于铜对钨良好的润湿性和钨自身的催化活性,从而可以得到铜包裹均匀的陶瓷。相对已有的化学镀铜工艺,本发明无需用昂贵的PdCl<SUB>2</SUB>或者AgCl对陶瓷表面进行活化,省略了敏化步骤,具有易于操作,包覆均匀,成本低廉的优势。
申请公布号 CN1740382A 申请公布日期 2006.03.01
申请号 CN200510029905.2 申请日期 2005.09.22
申请人 上海交通大学 发明人 顾明元;甘可可
分类号 C23C16/00(2006.01);C23C16/01(2006.01);C23C16/02(2006.01);C23C16/14(2006.01);C04B35/565(2006.01) 主分类号 C23C16/00(2006.01)
代理机构 上海交达专利事务所 代理人 毛翠莹
主权项 1、一种SiC陶瓷颗粒表面化学镀铜方法,其特征在于包括如下步骤:1)将SiC陶瓷颗粒放入浓度大于70%的硝酸中并加以超声振荡,对其进行粗化处理,5分钟后取出并用去离子水冲洗,得到具有清洁和粗糙表面的SiC陶瓷颗粒;2)按以下配比和方法配制溶胶:取每0.5-1克钨粉和2.5-5毫升双氧水反应,反应之后加入2毫升无水乙醇和0.75毫升乙酸混合均匀,过滤掉反应剩余物,得到淡黄色溶胶;所配制溶胶的量要能满足下一步骤完全浸没SiC陶瓷颗粒的需要;3)把经粗化处理过的SiC陶瓷颗粒浸没在上述溶胶中,辅以超声振荡10-20分钟,使SiC陶瓷颗粒在溶胶中均匀分散;4)把以上处理后的SiC陶瓷颗粒放入300-350℃的干燥箱中干燥2-3小时,取出冷却;5)把以上干燥好的SiC陶瓷颗粒在氢气气氛下于760-800℃还原2-3小时,随炉冷却后取出,得到镀覆钨的SiC陶瓷颗粒;6)按15g/l硫酸铜+25ml/l甲醛+25g LEDTA二钠+14g/l酒石酸钾钠+10mg/l亚铁氰化钾配置镀液,PH值用NaHO溶液调节在12-13之间,温度60℃,将上述镀覆钨的SiC陶瓷颗粒倒入镀液中,装载量为10-18g/l,辅以磁力搅拌;7)反应完全后过滤并在120-160℃干燥3-5小时,得到铜包裹均匀的SiC陶瓷颗粒。
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