应用X－射线进行快速检测的装置

摘要

本发明涉及X射线检查系统领域，更具体地说，涉及应用X射线衍射来分析所检查的目标的X射线检查系统。使用X-射线衍射作为结构分析的手段已经很长时间了，关于衍射材料的信息可以通过如下两种方法中的一种方法普通地得出：能量分散或角度分散。应用角度分散的已有技术的衍射系统的关键在于提供单色入射X-射线束。通常，通过借助于衡消滤波器技术从多色或单色X-射线束中滤去所需的频谱峰值中提供这种射线束。这种技术存在的缺点在于它需要从彼此的图像中抽取两种衍射图形以获得所需的频谱峰值。这就导致了束衰减和较差的统计质量的数据。本发明提供了应用半导体检测器元件阵列和相关的电子器件，该电子器件能够从散射的多色或准单色X-射线中抽取单色衍射图形。

主权项

1.一种X-射线检查系统(10)，该X-射线检查系统(10)包括X-射线源、要检查的目标材料(14)和检测系统(60)，设置该X-射线检查系统以使通过目标材料在角度范围φ0-φd上散射由该射线源所产生的准单色或多色X-射线束，其中该检测系统(60)包括分别连接到相应的读出通道阵列(24)的对着角度范围φ0-φd的半导体检测器元件(16a，b，...)的阵列(16)，其特征在于检测器元件(16a)由具有响应X-射线的辐射的带隙迁移的半导体材料制成，由此每个检测器元件(16a)产生电响应，该电响应的幅值取决于入射X-射线的能量，并且每个读出通道(24a)包括前端电子器件(44，46)，该前端电子器件(44，46)被设置成将半导体电响应变换为具有代表响应幅值的参数的电脉冲(72a-h)；识别电子器件(48，50)和计数器(52)，该识别电子器件(48，50)被设置成如果脉冲参数在第一(ε1)和第二(ε2)预先选择的鉴别器值之间时输出数字信号(74a，c，e，g，h)，该计数器(52)被设置成对从识别电子器件(48，50)中输出的数字信号进行计数。