Vorrichtung zur Inspektion eines mikroskopischen Bauteils

摘要

Es ist eine Vorrichtung (1) zur Inspektion, Messung definierter Strukturen, Simulation von Strukturen und Strukturfehlern, Reparatur von und an Strukturen und Nachinspektion definierter Objektstellen eines mikroskopischen Bauteils (2) mit einem Auflagetisch (4) für das mikroskopische Bauteil (2) offenbart. Es ist mindestens ein Immersionsobjektiv (8a) und eine Einrichtung (21) zum dosierten Aufbringen einer kleinen Flüssigkeitsmenge auf die Oberfläche (2a) des mikroskopischen Bauteils (2) vorgesehen. Eine Einrichtung (23) zum Absaugen der kleinen Flüssigkeitsmenge ist über der Oberfläche (2a) des mikroskopischen Bauteils (2) angebracht, wobei die Einrichtung (23) das Immersionsobjektiv (8a) zumindest teilweise umschließt oder in der Nähe des Objektivs angeordnet ist.