发明名称 Dickenprofilmessgerät für dünnschichtige Messobjekte
摘要 Vorrichtung zur Messung der Dicke von dünnschichtigen Messobjekten, insbesondere von Folien oder Filmen, bestehend aus einem Sensor, einer ein- oder mehrteiligen Luftzufuhr und einem Luftschild mit oder ohne Öffnung für den Sensor, wobei die Strahlrichtung der im Randbereich des Luftschildes angeordneten Luftzufuhr zum Aufbau einer im Wesentlichen laminaren Strömung im Wesentlichen tangential zur Oberfläche des Messobjektes ausgerichtet ist und jene Randbereiche des Luftschildes, welche der Luftzufuhr gegenüberliegen, offen und/oder mit Luftabsaugvorrichtungen versehen sind.
申请公布号 DE102004039652(A1) 申请公布日期 2006.02.23
申请号 DE200410039652 申请日期 2004.08.11
申请人 OCTAGON PROCESS TECHNOLOGY GMBH 发明人 GEIGER, JUERGEN
分类号 G01B13/04;G01B13/16 主分类号 G01B13/04
代理机构 代理人
主权项
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