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发明名称 SYSTEM AND METHODS FOR CONVEYING AND TRANSPORTING LEVITATED ARTICLES
摘要
申请公布号 KR100553805(B1) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20057006847 申请日期 2005.04.21
申请人 发明人
分类号 G01N21/84;B65G49/06;B65G51/03;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/677 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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