采用流体的几何参数确定基板的特性的方法和系统

摘要

本发明提供一种用于确定基板的特性诸如沾染物的存在与否、形状以及两个间隔的基板之间的空间关系的方法。空间关系包括两个间隔的第一基板与第二基板之间的距离和角度方位。这种技术方法包括在第二基板上形成一个具有与之相关的面积的量的流体。把所述流体量挤压在所述第一基板与第二基板之间而使所述面积的性质发生有效的变化，从而定义变化了的性质。用传感器感测变化了的性质，并根据所述变化了的性质确定所述第一基板和第二基板的特性。

主权项

1.一种用于确定第一和第二基板的特性的方法，所述方法包括：在所述第二基板上形成一个流体量，所述流体量具有一与之相关的面积；在所述第一与第二基板之间挤压所述流体量，使所述面积的性质发生有效的变化，定义变化了的性质；感测所述变化了的性质；以及根据所述变化了的性质确定所述第一和第二基板的特性，定义被测得的特性。