多晶粒针测装置

摘要

本发明的多晶粒针测装置，包含一具有一矩形开口的平台、两平行设置于该矩形开口的两侧的滑轨、至少一非圆形悬梁以及至少一架设于该非圆形悬梁上的微调台。该非圆形悬梁较佳地是一矩形悬梁，其两末端是分别借助一第一滑座架设于该滑轨上。该微调台包含一X轴驱动组件、一Y轴驱动组件以及一Z轴驱动组件、一角度调整组件及一承载针测卡的载具。该微调台是借助一第二滑座架设于该非圆形悬梁上，而该角度调整组件则可调整该针测卡与一待测集成电路组件的相对角度。本发明的多晶粒针测装置可同时测试多个待测集成电路组件的电气特性。

主权项

1.一种多晶粒针测装置，其特征在于：其包含：一具有一开口的平台；两设置于该开口的两侧的滑轨；至少一非圆形悬梁，其两末端设置于该两滑轨上；至少一设置于该非圆形悬梁上微调台，该微调台包含：一承载一针测卡的载具，以及一可通过旋转该载具而调整该针测卡与一待测组件的相对角度的角度调整组件。