发明名称 LOW-PRESSURE CVD APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM
摘要
申请公布号 KR100553194(B1) 申请公布日期 2006.02.22
申请号 KR20020067651 申请日期 2002.11.02
申请人 发明人
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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