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发明名称
LOW-PRESSURE CVD APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING A THIN FILM
摘要
申请公布号
KR100553194(B1)
申请公布日期
2006.02.22
申请号
KR20020067651
申请日期
2002.11.02
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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