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发明名称 POLYMER FOR CHEMICALLY AMPLIFIED RESIST AND RESISTS USING THIS POLYMER
摘要
申请公布号 KR100553263(B1) 申请公布日期 2006.02.20
申请号 KR20000019713 申请日期 2000.04.14
申请人 发明人
分类号 G03F7/039;C08F212/14;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
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