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发明名称 SLURRY COMPOSITION FOR CHEMICAL MECHANICAL POLISHING OF METAL
摘要
申请公布号 KR100552380(B1) 申请公布日期 2006.02.20
申请号 KR20030005010 申请日期 2003.01.25
申请人 发明人
分类号 C09K3/14 主分类号 C09K3/14
代理机构 代理人
主权项
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