化学机械研磨液组合物及金属膜的研磨方法

摘要

一种化学机械研磨液组合物，至少是由研磨料安定剂、烷基铵盐衍生物、酸溶液及研磨料所构成。研磨料安定剂为二价金属化合物或二价金属化合物。烷基铵盐衍生物用于降低介电层研磨速率，以提高金属层与介电层之磨除选择比。酸溶液用于调整pH值及作为缓冲溶液。此种化学机械研磨液组合物可以高速研磨钨。