离子布値能量监控装置、带电粒子的能量监控系统以及离子布値机台的输出能量校正方法

摘要

本发明系提供一种离子布值能量监控装置以及离子布值机台的输出能量校正方法，用来监控一离子布值机台所输出的离子束之能量，此离子布值能量监控系统包含有一力场产生装置，用来于离子束的行进路径上产生一力场，力场之方向系不平行于离子束之行进方向，以使离子束朝力场之方向偏折，以及一接收装置，位于离子束偏折后之行进路径上，用来接收离子束，并根据离子束之落点分布来计算离子布值机台所输出的离子束能量分布，其中离子布值能量监控系统将根据所得之离子束能量分布来调整离子布值机台所输出的离子束之能量。