Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikroskopes mit punktförmiger Lichtquellenverteilung

摘要

Verfahren zur bildlichen Erfassung von Objekten mittels eines Lichtrastermikroskops mit punktförmiger Lichtquellenverteilung, wobei eine Abtastung einer Probe zur Erzeugung eines Probenbildes in Abtastschritten erfolgt und der Abstand zwischen mindestens zwei Abtastschritten variabel einstellbar ist und mindestens eine zweite Abtastung der Probe erfolgt, bei dem die Lage der Abtastschritte zur Abtastrichtung versetzt wird, DOLLAR A wobei vorzugsweise eine zeilenweise Abtastung einer Probe erfolgt.