Substrat mit Leiterbahnen und Herstellung der Leiterbahnen auf Substraten für Halbleiterbauteile

摘要

Die Erfindung betrifft ein Substrat (1) mit Leiterbahnen (2) und Kontaktflächen (3, 16). Die Leiterbahnen (2) weisen ein Verdrahtungsmuster (4) auf, welches die Kontaktflächen (3, 16) miteinander verbindet. Die Leiterbahnen (2) weisen darüber hinaus eine kleine Leiterbahnbreite (b) auf. Die Kontaktflächen (16) und/oder die Leiterbahnen (2) bilden ein enges Anschlussraster (18) und weisen elektrisch leitende Kohlenstoff-Nanoröhren (6) auf. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung derartiger Leiterbahnen (2) und zur Herstellung entsprechender Halbleiterbauteile.