固态成像装置及其制造方法以及照相机

摘要

提供一种固态成像装置，能改善衬底的光入射侧中透明绝缘膜的透光率，抑制暗电流，并且防止量子效率的损失，其中像素电路形成在衬底的第一表面中，并且从第二表面接收光，固态成像装置具有：光接收单元，形成在衬底中，用于产生对应于入射光的量的电荷并存储该电荷；透明的第一绝缘膜，形成在第二表面上；以及透明的第二绝缘膜，形成在第一绝缘膜上，并用于在第一绝缘膜的交接面中或者内部保持与信号电荷具有相同极性的电荷，第一和第二绝缘膜的厚度确定为获得比仅仅利用第一绝缘膜更高的透光度。

主权项

1.一种固态成像装置，其中像素电路形成在衬底的第一表面侧中，并且从第二表面侧接收光，所述固态成像装置包括：光接收单元，形成在所述衬底中，并用于产生对应于入射光的量的信号电荷，以及存储所述信号电荷；透明的第一绝缘膜，形成在所述衬底的所述第二表面上，以及透明的第二绝缘膜，形成在所述第一绝缘膜上，并用于在所述第一绝缘膜的交接面中或内部保持具有与所述信号电荷相同极性的电荷，其中所述第一绝缘膜和所述第二绝缘膜的厚度确定为获得比仅仅利用所述第一绝缘膜时更高的入射光透光度。