发明名称 THIN-FILM DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060013876(A) 申请公布日期 2006.02.14
申请号 KR20040062487 申请日期 2004.08.09
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, YOUNG DO
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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