| 主权项 |
1.一种过滤器芯件,该过滤器芯件包括:纤维薄膜材 料,系由将离子交换基及/或螯合基导入于具有0.1 m至20m之平均纤维直径及1m至20m之平均孔 径的有机聚合物纤维薄膜基材而得到。 2.如申请专利范围第1项之过滤器芯件,其中,藉由 辐射接枝聚合法将含有离子交换基及/或螯合基的 聚合物侧链导入在该有机聚合物纤维薄膜基材的 主链上。 3.如申请专利范围第1项之过滤器芯件,其中,该纤 维基材系纺织物或不织布。 4.如申请专利范围第1项之过滤器芯件,其中,该离 子交换基系选自磺酸基、磷酸基、羧基、四级铵 基与一级、二级或三级低级胺基,且该螯合基系选 自二乙醇胺基、亚胺基二乙酸、二硫代胺甲酸基 与硫基。 5.一种过滤器芯件,包括:将离子交换基及/或螯合 基导入于具有0.1m至50m之平均纤维直径及0.1 m至100m之平均孔径的有机聚合物纤维薄膜基材 所得之纤维薄膜材料,和微孔薄膜材料。 6.一种过滤器芯件,包括:将离子交换基及/或螯合 基导入于具有0.1m至50m之平均纤维直径及0.1 m至100m之平均孔径的有机聚合物纤维薄膜基材 所得到的纤维薄膜材料,和将亲水基导入有机多孔 薄膜基材而得到的微孔薄膜材料。 7.如申请专利范围第5项之过滤器芯件,其中,藉由 辐射接枝聚合法将含有离子交换基及/或螯合基的 聚合物侧链导入在该有机聚合物纤维薄膜基材的 主链上。 8.如申请专利范围第5项之过滤器芯件,其中,该纤 维基材系纺织物或不织布。 9.如申请专利范围第5项之过滤器芯件,其中,该有 机聚合物纤维薄膜基材具有0.1m至20m之平均纤 维直径及1m至20m之平均孔径。 10.如申请专利范围第5项之过滤器芯件,其中,该离 子交换基系选自磺酸基、磷酸基、及羧基之阳离 子交换基,或选自四级铵基与一级、二级或三级之 低级胺基之阴离子交换基;该螯合基系选自二乙醇 胺基、亚胺基二乙酸、二硫代胺甲酸基与硫基; 该亲水基系选自磺酸基、磷酸基、羧基、四级铵 基、三级胺基、二级胺基与一级胺基之离子性亲 水基或选自醯胺基与羟基之非离子性亲水基。 11.如申请专利范围第5项之过滤器芯件,其中,该微 孔薄膜之平均孔径为0.02m至1.0m。 12.如申请专利范围第11项之过滤器芯件,其中,该微 孔薄膜之平均孔径为0.02m至0.5m。 13.如申请专利范围第6项之过滤器芯件,其中,藉由 辐射接枝聚合法将含有离子交换基及/或螯合基的 聚合物侧链导入在该有机聚合物纤维薄膜基材的 主链上。 14.如申请专利范围第6项之过滤器芯件,其中,该纤 维基材系纺织物或不织布。 15.如申请专利范围第6项之过滤器芯件,其中,该有 机聚合物纤维薄膜基材具有0.1m至20m之平均纤 维直径及1m至20m之平均孔径。 16.如申请专利范围第6项之过滤器芯件,其中,该离 子交换基系选自磺酸基、磷酸基、及羧基之阳离 子交换基,或选自四级铵基与一级、二级或三级之 低级胺基之阴离子交换基;该螯合基系选自二乙醇 胺基、亚胺基二乙酸、二硫代胺甲酸基与硫基; 该亲水基系选自磺酸基、磷酸基、羧基、四级铵 基、三级胺基、二级胺基与一级胺基之离子性亲 水基或选自醯胺基与羟基之非离子性亲水基。 17.如申请专利范围第6项之过滤器芯件,其中,该微 孔薄膜之平均孔径为0.02m至1.0m。 18.如申请专利范围第17项之过滤器芯件,其中,该微 孔薄膜之平均孔径为0.02m至0.5m。 19.一种用以将水或化学品进料至微电子装置制造 方法之系统,其特征为将申请专利范围第1至18项中 任一项之过滤器芯件纳入微电子装置制程之水或 化学品的进料管线中。 图式简单说明: 第1图为表示实施例8的实验结果图。 第2图为表示实施例15的实验结果图。 |
