发明名称 可降低寄生电容效应的半导体封装制程及结构
摘要 一种可降低寄生电容效应的半导体封装制程及结构,其可应用于制造一覆晶型半导体封装件;且其特点在于将被动元件的布局位置设在半导体晶片的正下方,且将被动元件的二端直接藉由焊料而焊结至基板和晶片,亦即被动元件与基板之间以及被动元件与晶片之间均不设置延伸之导电迹线。此作法不只可大幅减少寄生电容效应而使得半导体晶片于高频运作时可确保其操作效能,并可附带地使得最后完成之封装件的整体尺寸较先前技术更为小型化。
申请公布号 TWI249228 申请公布日期 2006.02.11
申请号 TW093108474 申请日期 2004.03.29
申请人 矽品精密工业股份有限公司 发明人 普翰屏
分类号 H01L23/06 主分类号 H01L23/06
代理机构 代理人 陈昭诚 台北市中正区博爱路80号6楼
主权项 1.一种可降低寄生电容效应的半导体封装制程,其 至少包含: 预制一基板,并于该基板中预先定义出至少一组被 动元件焊垫和复数个信号焊垫; 预制一被动元件,其具有一第一端和一第二端; 预制一半导体晶片,其具有一第一表面和一第二表 面,且该第一表面上预先定义出至少一组接地/电 源焊垫和复数个信号焊垫,该半导体晶片系预先藉 由一凸块制程而于该些接地/电源焊垫上形成第一 型凸块、且于该些信号焊垫上形成第二型凸块,其 中该第一型凸块的高度系小于该第二型凸块; 将该被动元件的第一端和第二端焊结至该基板的 被动元件焊垫上; 将该半导体晶片安置于该基板上,使得该半导体晶 片上的第一型凸块被焊结至该被动元件的第一端 和第二端,并同时使得该第二型凸块被焊结至该基 板上的对应信号焊垫上;以及 进行一覆晶底部填胶程序,藉此而于该基板与该半 导体晶片间的空隙中形成一覆晶底部填胶层,并作 为一封装胶体。 2.如申请专利范围第1项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装制程,其中该被动元件为一电阻器 。 3.如申请专利范围第1项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装制程,其中该被动元件为一电容器 。 4.如申请专利范围第1项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装制程,其中该凸块制程系采用网印 技术。 5.如申请专利范围第1项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装制程,其中该凸块制程系采用电镀 技术。 6.一种可降低寄生电容效应的半导体封装结构,其 至少包含: 一基板,其中预先定义出至少一组被动元件焊垫和 复数个信号焊垫; 一被动元件,其具有一第一端和一第二端,且该第 一端和该第二端系焊结至该基板的被动元件焊垫 上; 一半导体晶片,其具有一第一表面和一第二表面, 且该第一表面上预先定义出至少一组接地/电源焊 垫和复数个信号焊垫,且该半导体晶片系预先藉由 一凸块制程而于该些接地/电源焊垫上形成第一型 凸块、且于该些信号焊垫上形成第二型凸块,其中 ,该第一型凸块的高度系小于该第二型凸块,且该 第一型凸块系被焊结至该被动元件的第一端和第 二端,而该第二型凸块则系被焊结至该基板上的对 应信号焊垫;以及 一覆晶底部填胶层,其系形成于该基板与该半导体 晶片之间的空隙,用以作为一封装胶体。 7.如申请专利范围第6项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装结构,其中该被动元件为一电阻器 。 8.如申请专利范围第6项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装结构,其中该被动元件为一电容器 。 9.如申请专利范围第6项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装结构,其中该凸块制程系采用网印 技术。 10.如申请专利范围第6项所述之可降低寄生电容效 应的半导体封装结构,其中该凸块制程系采用电镀 技术。 图式简单说明: 第1图为一剖面一结构示意图,其中显示一习知之 覆晶型半导体封装件的剖面结构形态; 第2A图为一剖面结构示意图,用以显示本发明之半 导体封装制程中的第一个基本程序步骤; 第2B图为一剖面结构示意图,用以显示本发明之半 导体封装制程中的第二个基本程序步骤; 第2C图为一剖面结构示意图,用以显示本发明之半 导体封装制程中的第三个基本程序步骤; 第2D图为一剖面结构示意图,用以显示本发明之半 导体封装制程中的第四个基本程序步骤。
地址 台中县潭子乡大丰路3段123号
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