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经营范围
发明名称
OXIDATION APPARATUS AND OXIDATION METHOD
摘要
申请公布号
KR20060012796(A)
申请公布日期
2006.02.09
申请号
KR20040061441
申请日期
2004.08.04
申请人
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
KO, KYUNG SEOK
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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