| 摘要 |
본 발명은 증분 인코더용 측정 소자(10)에 관한 것이며, 상기 측정 소자(10)는 길이 방향(x)으로 교대로 배치된 산란 영역들(23) 및 반사 영역들(24)을 가진 증분 트랙(20)을 포함한다. 각각의 산란 영역(23)은 적어도 2개의 선형 리세스(26-1, 26-2, 26-3, 26-4, 26-5)를 포함하고, 상기 리세스들은 증분 트랙의 길이 방향(x)에 대해 실질적으로 수직으로 연장되며 증분 트랙(20)의 길이 방향(x)으로 연속하여 배치되고, 입사 광을 확산 반사시키도록 형성된다. 이와 달리, 증분 트랙(20)의 반사 영역들(24)은 실질적으로 매끄러운 표면을 갖고, 상기 표면은 입사 광을 거울 반사시키도록 형성된다. 또한, 증분 트랙(20)은 산란 영역들(23) 중 하나의 산란 영역의 폭(B)과 반사 영역들(24) 중 하나의 반사 영역의 폭(B)의 가산으로부터 주어지는 피치(P)를 갖는다. 측정 소자에 의해 산란된 방사선의 콘트라스트를 최적화하기 위해, 산란 영역들(23)은 증분 트랙(20)의 길이 방향(x)으로 폭(B)을 갖는데, 상기 폭(B)은 피치(P)의 1/2보다 작고, 산란 영역(23)의 선형 리세스들(26-1, 26-2, 26-3, 26-4, 26-5) 중 각각 2개는 산란 영역(23)의 마주보는 외부 측면들(As1, As2)에 배치되며, 증분 트랙(20)의 길이 방향(x)으로 산란 영역(23)의 폭(B)을 제한한다. |
