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发明名称
CONTACTOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE, TEST APPARATUS AND TEST METHOD USING THE CONTACTOR
摘要
申请公布号
KR100550022(B1)
申请公布日期
2006.02.09
申请号
KR19990032363
申请日期
1999.08.06
申请人
发明人
分类号
G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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