发明名称 CONTACTOR FOR SEMICONDUCTOR DEVICE, TEST APPARATUS AND TEST METHOD USING THE CONTACTOR
摘要
申请公布号 KR100550022(B1) 申请公布日期 2006.02.09
申请号 KR19990032363 申请日期 1999.08.06
申请人 发明人
分类号 G01R31/26;G01R1/06;G01R1/073;G01R31/28;H01L21/00;H01L21/66;H01L21/683;H01L21/687 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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