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본 발명의 적층 필름은, 기재와 박막층을 갖고, 박막층이 하기 조건 (i) (ii) (iii) 을 만족하는 적층 필름이다. (i) 규소 원자, 산소 원자, 탄소 원자 및 수소 원자를 함유한다. (ii) 두께 방향에 있어서의 각 원자의 합계량에 대한 규소 원자, 산소 원자 및 탄소 원자의 비율을 나타내는 규소 분포 곡선, 산소 분포 곡선 및 탄소 분포 곡선에 있어서, 각 원자의 분포 곡선이 각각 연속이고, 탄소 분포 곡선이 적어도 1 개의 극값을 갖는다. (iii) 1 층의 박막층에 있어서, 그 층의 내부는 밀도가 상이한 복수 층을 구성하고, 각 층의 두께는, 층 전체의 두께에 대해 10 ％ 이상의 두께를 갖고, 기재측에 가장 가까운 층 A 의 밀도 X 와, 가장 밀도가 높은 층 B 의 밀도 Y 가, 식 (1) 의 관계를 만족한다. X ＜ Y ··· (1) |
