| 发明名称 | 图案形成装置、图案形成方法、图案形成系统 | ||
| 摘要 | 在图案形成装置(10)中，把用于在基板(200)上形成图案的模具(100)加热到基板(200)的表层部的玻化温度Tg以上的温度T1，在该状态下，把模具(100)按压到温度在玻化温度Tg以下的基板(200)上，并转印模具(100)的图案。然后，切断加热器，利用冷却单元将模具(100)冷却后，使模具(100)从基板(200)分离。并且，优选设置从料箱逐个取出基板(200)并依次供给该图案形成装置(10)的供给装置，构成图案形成系统。 | ||
| 申请公布号 | CN1732075A | 申请公布日期 | 2006.02.08 |
| 申请号 | CN200380108032.3 | 申请日期 | 2003.12.09 |
| 申请人 | 天成科威有限公司;伯东株式会社 | 发明人 | 后藤博史;藤井充;吉冈治男;岸英树 |
| 分类号 | B29C59/02(2006.01) | 主分类号 | B29C59/02(2006.01) |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 胡建新 |
| 主权项 | 1.一种图案形成装置，其特征在于，具有：在成为加工对象物的大致平板状的基板上形成规定图案的模具；加热所述模具的加热部；保持所述基板的基板保持部；把所述模具按压在由所述基板保持部保持的所述基板上的加压机构。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||