发明名称 |
气体过滤装置 |
摘要 |
本实用新型提供一种气体过滤装置,包括一中空集尘容器,其具有一进气口及一出气部位。其中,相对于出气部位的底部设有一顶部具多个凹槽的冷却装置,而出气部位形成有多个具绕折结构的风阻。该冷却装置包括一容量传感器,通过容量传感器随时监控冷却装置中的液氮容量,以便及时补充液氮。风阻之间形成有曲折出气通道,以增加气流滞留时间。本实用新型所提供的气体过滤装置具有过滤效率高及使用周期长等特点。 |
申请公布号 |
CN2756643Y |
申请公布日期 |
2006.02.08 |
申请号 |
CN200420071824.X |
申请日期 |
2004.07.16 |
申请人 |
鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
发明人 |
翁维襄 |
分类号 |
C23C16/44(2006.01);B01D46/00(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/44(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
1.一种气体过滤装置,其包括一中空集尘容器,其具有一进气口及一出气部位;其特征在于相对于出气部位的底部设有一顶部具多个凹槽的冷却装置。 |
地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇油松第十工业区东环二路2号 |