发明名称 |
薄膜晶体管,用于制造薄膜晶体管的方法和具有该晶体管的电子设备 |
摘要 |
一种薄膜晶体管(100)安装在衬底(102)上,其由半导体层(120)覆盖。该半导体层(120)具有第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122)以及它们之间的未掺杂区域(123)。此外,该半导体层(120)具有第一另外的掺杂区域(125)和第二另外的掺杂区域(126),其形成了薄膜晶体管(100)的源极和漏极,并且相比于第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122),其是较为重度掺杂的。半导体层(120)的一部分由氧化物层(140)覆盖,其承载未掺杂区域(130)上的导电栅极(104)以及分别位于第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122)上的第一间隔物(111)和第二间隔物(112)。此外,氧化物层(140)承载第一绝缘间隔物(125)和第二绝缘间隔物(126),以提供栅极结构分别同第一导电接触(135)和第二导电接触(136)之间的足够的绝缘。由于第一间隔物(111)、第二间隔物(112)、第一绝缘间隔物(115)和第二绝缘间隔物(116)安装在氧化物层(140)上,因此获得了具有有利的寄生导电率特性的薄膜晶体管(100)。 |
申请公布号 |
CN1732559A |
申请公布日期 |
2006.02.08 |
申请号 |
CN200380107533.X |
申请日期 |
2003.12.11 |
申请人 |
皇家飞利浦电子股份有限公司 |
发明人 |
C·格拉斯;S·D·布罗特尔顿 |
分类号 |
H01L21/336(2006.01);H01L29/786(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/336(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
吴立明;梁永 |
主权项 |
1.一种衬底(102)上的薄膜晶体管(100),包括:半导体层(120),其具有在第一另外的掺杂区域(125)和第二另外的掺杂区域(126)之间的第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122),并且具有在第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122)之间的未掺杂区域(123),第一掺杂区域(121)和第二掺杂区域(122)具有比第一另外的掺杂区域(125)和第二另外的掺杂区域(126更低的导电率;和氧化物层(140),其部分覆盖了半导体层(120)的表面,该氧化物层(140)承载:-未掺杂区域(123)上的导电栅极(104),其具有基本上垂直于氧化物层(140)的第一侧和第二侧;-第一间隔物(111)和第二间隔物(112),其分别与导电栅极(104)的第一侧和第二侧相邻;-第一绝缘间隔物(115),其与导电栅极(104)的第一侧相对同第一间隔物(111)的侧面相邻;和-第二绝缘间隔物(116),其与导电栅极(104)的第二侧相对同第二间隔物(112)的侧面相邻;该薄膜晶体管(100)进一步包括:具有第一另外的掺杂区域(125)的第一导电接触(135);和具有第二另外的掺杂区域(126)的第二导电接触(136)。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |