精密加工激光切割机

摘要

精密加工激光切割机，利用待切割物与聚焦激光相互作用产生的弧光作为波前探测器的信标波前，或者同时利用少部分激光经后向反射器的反射回光作为激光自身像差信标，并由波前控制器把波前探测器得到的信号经过控制算法形成控制信号或者经数据融合形成控制信号，驱动电控系统使变形反射镜产生相应形变，补偿聚焦光斑与待切割物相互作用产生的热量引起的热致扰动，或者同时补偿激光自身的波前像差和分光镜的热变形像差，最终使到达待切割物的高能激光具有良好的聚焦光斑质量。这种精密加工激光切割机避免了直接使用会聚透镜导致的吸热变形，并避免了激光自身像差产生的焦斑质量恶化和位置漂移，可以将焦点精确定位，从而提高激光切割机的加工精度。

主权项

1、精密加工激光切割机，其特征在于：包括球面变形反射镜、分光镜、准直透镜、波前探测器、电控系统，使用球面变形反射镜把激光会聚至待切割物上，准直的激光经球面变形反射镜后，成为会聚光束，其聚焦光斑与待切割物相互作用产生后向反射弧光，该后向反射弧光经分光镜全部透射或部分透射至准直透镜，波前探测器探测准直后的弧光中的某一频率的扰动波前，形成控制信号驱动球面变形反射镜补偿热致像差。