发明名称 SLURRY SUPPLYMENT EQUIPMENT FOR CMP PROCESS PROVIDED WITH DECOMPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060010156(A) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 KR20040058760 申请日期 2004.07.27
申请人 HYNIX SEMICONDUCTOR INC. 发明人 OH, PYEONG WON
分类号 H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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