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发明名称
SLURRY SUPPLYMENT EQUIPMENT FOR CMP PROCESS PROVIDED WITH DECOMPOSITION EQUIPMENT
摘要
申请公布号
KR20060010156(A)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR20040058760
申请日期
2004.07.27
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
OH, PYEONG WON
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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