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发明名称
Positiv arbeitender Resist vom chemischen Verstärkertyp
摘要
申请公布号
DE60015220(T2)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
DE2000615220T
申请日期
2000.03.23
申请人
SUMITOMO CHEMICAL CO. LTD., TOKIO/TOKYO
发明人
UETANI, YASUNORI;OOHASHI, KENJI;INOUE, HIROKI
分类号
C07C381/12;G03F7/004;G03F7/039
主分类号
C07C381/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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