发明名称 LASER INTERFEROMETER MIRROR ASSEMBLY
摘要 A laser interferometer mirror assembly (1) comprises a glass base (2) and first and second orthogonal glass mirror blocks (3, 4) each mirror block being supported on an upper surface (5) of the glass base using a pair of feet (6, 7, 8, 9).
申请公布号 WO2005119362(A3) 申请公布日期 2006.02.02
申请号 WO2005GB50065 申请日期 2005.05.13
申请人 NANOBEAM LIMITED;ZHANG, TAO 发明人 ZHANG, TAO
分类号 G03F7/20;G01B9/02;G02B7/18;G03F7/00 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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