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发明名称
Lithographic Apparatus and Motor for use in said Apparatus
摘要
申请公布号
KR100548714(B1)
申请公布日期
2006.02.02
申请号
KR20020048838
申请日期
2002.08.19
申请人
发明人
分类号
G03F9/00;G03F7/20;H01L21/027;H02K41/03;H02K41/035
主分类号
G03F9/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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