遮罩、遮罩之制造方法、光电装置之制造方法及电子机器

摘要

本发明之课题在于提供由矽所构成之遮罩且不易破损而机械强度高之遮罩、遮罩之制造方法、光电装置之制造方法及电子机器。本发明之解决手段系一种由矽所构成之遮罩100，其特征为在贯通该矽之开口部102之角部位带有圆形面R。