不定形氟化碳膜及其形成方法

摘要

本发明系以提供形成微细空孔之不定形氟化碳膜，来作为主要之课题。其特征在于包括：在设置于处理室内部之基板上，导入包括第1氟化碳气体和第2氟化碳气体之混合气体，在前述基板上，堆积不定形氟化碳膜之制程(SA1)；以及藉由呈选择性地除去前述不定形氟化碳膜所包括之挥发性成分，而在前述不定形氟化碳膜，形成空隙之制程(SA2)。特别最好是在空隙形成制程(SA2)，包括藉由超临界流体而洗净前述不定形氟化碳膜之制程。