发明名称 |
用于测量电子器件参数的方法及设备 |
摘要 |
利用衬底与SOI器件的漏极之间的固有电容作为电路的部分。衬底与引到芯片外部的传感针连接,并与其它电气元件形成环路,形成包括衬底与漏极之间的固有电容的电路,该电路利用衬底与漏极之间的电容运行。 |
申请公布号 |
CN1240140C |
申请公布日期 |
2006.02.01 |
申请号 |
CN01802316.9 |
申请日期 |
2001.07.20 |
申请人 |
皇家菲利浦电子有限公司 |
发明人 |
L·布尔迪永 |
分类号 |
H01L29/786(2006.01);H01L27/07(2006.01) |
主分类号 |
H01L29/786(2006.01) |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 |
代理人 |
王岳;陈霁 |
主权项 |
1.一种电子器件,具有源极(204)、栅极(205)和漏极(206),所述电子器件位于衬底(201)上并且在衬底与所述源极(204)或所述漏极(206)或所述栅极(205)之间具有一个电容量,所述电子器件和衬底在具有外部针的芯片内,所述外部针包括一个外部传感针(406),所述衬底与用于从所述电容量测量一个电流的所述外部传感针(406)电连接,所述衬底不与所述源极连接。 |
地址 |
荷兰艾恩德霍芬 |