发明名称 用于测量电子器件参数的方法及设备
摘要 利用衬底与SOI器件的漏极之间的固有电容作为电路的部分。衬底与引到芯片外部的传感针连接,并与其它电气元件形成环路,形成包括衬底与漏极之间的固有电容的电路,该电路利用衬底与漏极之间的电容运行。
申请公布号 CN1240140C 申请公布日期 2006.02.01
申请号 CN01802316.9 申请日期 2001.07.20
申请人 皇家菲利浦电子有限公司 发明人 L·布尔迪永
分类号 H01L29/786(2006.01);H01L27/07(2006.01) 主分类号 H01L29/786(2006.01)
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 代理人 王岳;陈霁
主权项 1.一种电子器件,具有源极(204)、栅极(205)和漏极(206),所述电子器件位于衬底(201)上并且在衬底与所述源极(204)或所述漏极(206)或所述栅极(205)之间具有一个电容量,所述电子器件和衬底在具有外部针的芯片内,所述外部针包括一个外部传感针(406),所述衬底与用于从所述电容量测量一个电流的所述外部传感针(406)电连接,所述衬底不与所述源极连接。
地址 荷兰艾恩德霍芬