一种自控液晶光阀组光刻快门

摘要

一种自控液晶光阀组光刻快门，属于光学精密刻划技术领域中涉及的一种光刻快门，本发明要解决的技术问题是：提供一种自控液晶光阀组光刻快门，解决的技术方案是：包括灯盒、托板、液晶光阀组、曝光镜头、微型计算机、待刻码盘；在灯盒的光的传播方向上，从上到下依次安置灯盒、托板、曝光镜头、待刻码盘；在托板上固连放置液晶光阀组，使液晶光阀组置于光路中心，工作面垂直于曝光镜头的光轴，待刻码盘置于曝光镜头的焦面上，微型计算机与液晶光阀组按控制电路连接，将待刻码盘图案编制成受控脉冲电压信号，利用微机通过控制程序控制液晶光阀组上的每一个单元的脉冲电压，使其透光或不透光，经曝光镜头成像在待刻码盘上完成光刻。该快门结构简单操作方便。

主权项

1.一种自控液晶光阀组光刻快门，包括灯盒、曝光镜头、待刻码盘，其特征在于还包括液晶光阀组(16)、托板(17)、微型计算机(19)；在灯盒(15)的光的传播方向上，从上到下依次安置灯盒(15)、托板(17)、曝光镜头(18)、待刻码盘(20)，在托板(17)上放置液晶光阀组(16)，使液晶光阀组(16)置于光路的中心，工作面垂直于曝光镜头(18)的光轴，待刻码盘(20)置于曝光镜头(18)的焦面上，液晶光阀组(16)与微型计算机(19)之间按控制电路框图连接；将事先设计的待刻码盘图案编制成受控脉冲电压信号，利用微型计算机(19)通过控制程序流程控制液晶光阀组(16)上的各个单元的脉冲电压，使其透光或不透光，经曝光镜头(18)成像在待刻码盘(20)上，完成码盘的光刻制造。