含氟醚式结构多官能基光敏产酸剂及其制备方法

摘要

本发明涉及通式I化合物及其制备方法。在通式I中n＝1～4；k＝0～4；Z是二价基团，包括C_1－12的亚烷基或亚烯基，亚芳烷基，亚芳基，双环结构亚环烷基，三环结构亚环烷基，全氟亚烷基，部分氟化亚烷基，卤氟取代亚烷基；Z也可以为通式II结构；上述二价基团上也可以带有嵌入或悬挂构型的三价N元素(构型如III)或六价S元素(构型如IV)；A可以是SO₃^－，CO₂^－离子型式，也可以是SO₃－，COO－共价键合型式；X，Y独立是有机阳离子，共价键合有机根。通式II结构中p＝1～4；m＝0～3；q＝1～4。通式I化合物可以作为新型光敏产酸剂(PAGs)，并呈现出优异应用特性。本发明还涉及包含有此类PAG的光刻胶组合物以及聚合体系。

主权项

1.一种带有含氟醚式多官能基化合物，其特征在于它是通式为I的化合物： YA-(CF2)k-Z-O(CF2)nSO3X I在通式I中n＝1～4；k＝0～4；Z是二价基团，包括C1～12的亚烷基或亚烯基，亚芳烷基，亚芳基，双环结构亚环烷基，三环结构亚环烷基，全氟亚烷基，部分氟化亚烷基，卤氟取代亚烷基；Z亦为通式II结构；上述二价基团上也可以带有嵌入或悬挂构型的三价N元素(构型如III)或六价S元素(构型如IV)；A可以是SO3-，CO2-离子型式，也可以是SO3-，COO-共价键合型式；X，Y独立是有机阳离子，共价键合有机根。 -((CF2)pO)m(CF2)q- II通式II结构中p＝1～4；m＝0～3；q＝1～4。