识别半导体器件测试处理机中器件传送系统的工作位置的装置和方法

摘要

一种识别半导体器件测试处理机中一器件传送系统的工作位置的装置和方法，当在处理机中测试各种半导体器件时能快速、精确地识别、重新设定用于所更换盘和成套部件的传送装置的工作位置。一检测一物体的颜色变化的激光传感器装在一传送装置上，在水平和垂直方向上对所更换的盘和成套部件的各转角进行扫描，获得盘和成套部件的转角的位置信息。本发明使用先前输入处理机的控制装置中的基本信息和所获得的信息精确计算传送装置的工作位置以便重新设定。

主权项

1.一种识别处理机中一传送半导体器件的器件传送系统的工作位置的装置，其特征在于，所述装置包括：一可作水平运动、把一激光光束向下射到其上装有一个或多个盘和成套部件的一底板上、生成相应输出信号的激光传感器；一在接收到所述激光传感器的所述输出信号时确定所述盘和成套部件与所述底板的相对位置的控制装置；以及一向所确定位置移动、传送所述盘和成套部件上的半导体器件的传送装置，其中，所述传送装置包括多个拾取器，并且所述激光传感器固定在所述传送装置的一边上。