| 发明名称 | 混合及分配浆液的工艺和设备 | ||
| 摘要 | 本申请公开了混合及分配浆液的工艺和设备，所述设备包括混合罐，其中顺序加入至少第一和第二成分，直至每种成分达到粗重量设定值，所述成分被允许沉淀并通过脉冲注入再加入，直至获得精重量设定值；搅拌器，用于将所述至少第一和第二成分混合入溶液中；处理罐，用于接受所述溶液，并将其分配至使用地点，其中在所述混合罐下配置秤，以测量每种加入成分的重量。所述工艺和设备可用于半导体制造业。 | ||
| 申请公布号 | CN1239243C | 申请公布日期 | 2006.02.01 |
| 申请号 | CN01821505.X | 申请日期 | 2001.12.17 |
| 申请人 | 液体空气乔治洛德方法利用和研究的具有监督和管理委员会的有限公司 | 发明人 | 戴维·L·斯奈德;卡尔·J·尤奎哈特;理查德·D·斯温德尔 |
| 分类号 | B01F15/04(2006.01);G01G19/22(2006.01);B24B37/04(2006.01) | 主分类号 | B01F15/04(2006.01) |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人 | 王永刚 |
| 主权项 | 1.一种混合及分配浆液至半导体加工设备中使用地点的工艺，包括：顺序供应至少第一和第二成分至混合罐，加入每种所述成分直至达到粗重量设定值，一旦获得所述粗值，所述成分被允许沉淀并通过脉冲注入再加入，直至获得精重量设定值，然后，将成分混合成浆液，并传送所述浆液至处理罐，随后进入使用地点。 | ||
| 地址 | 法国巴黎 | ||