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发明名称 ABATEMENT OF EFFLUENT FROM CHEMICAL VAPOR DEPOSITION PROCESSES USING LIGAND EXCHANGE RESISTANT METAL-ORGANIC PRECURSOR SOLUTIONS
摘要
申请公布号 EP1230420(A4) 申请公布日期 2006.02.01
申请号 EP20000984541 申请日期 2000.10.18
申请人 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 发明人 HOLST, MARK;FALLER, REBECCA;DUBOIS, RAY;ARNO, JOSE
分类号 B01D53/72;B01D53/04;B01D53/34;B01D53/64;B01J20/08;B01J20/10;B01J20/18;B01J20/20;B01J20/26;B01J20/34;C23C16/40;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/40;C23C16/56 主分类号 B01D53/72
代理机构 代理人
主权项
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