发明名称 INTEGRATED CIRCUIT FABRICATION METHOD
摘要
申请公布号 KR100530932(B1) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 KR19980019648 申请日期 1998.05.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/78 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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