发明名称 AN APPARATUS FOR EXCITING ONE OR MORE GASES
摘要
申请公布号 KR100528355(B1) 申请公布日期 2006.01.27
申请号 KR19970060327 申请日期 1997.11.17
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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