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发明名称
Verfahren zum Ausbilden eines Kompensationsgebiets und Verwendung des Verfahrens zur Herstellung eines Kompensationshalbleiterbauelements
摘要
申请公布号
DE10239580(B4)
申请公布日期
2006.01.26
申请号
DE20021039580
申请日期
2002.08.28
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
RUEB, MICHAEL
分类号
H01L21/328;H01L21/329;H01L21/331;H01L21/332;H01L21/336;H01L29/06;H01L29/78
主分类号
H01L21/328
代理机构
代理人
主权项
地址
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