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发明名称
Strukturierungsverfahren
摘要
申请公布号
DE59813289(D1)
申请公布日期
2006.01.26
申请号
DE19985013289T
申请日期
1998.07.30
申请人
INFINEON TECHNOLOGIES AG
发明人
WEINRICH, VOLKER;ENGELHARDT, MANFRED
分类号
H01L21/033;H01L21/311;H01L21/3213
主分类号
H01L21/033
代理机构
代理人
主权项
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