磁悬浮转子方位微陀螺

摘要

一种磁悬浮转子方位微陀螺，属于微机电技术领域。本发明包括：右基体，两边的定子线圈和传感电极，磁性衬底，左基体，防粘结柱，转子支撑柱以及微转子，定子线圈、传感电极以及微转子被密封在左基体、右基体形成的腔体中，在左基体、右基体上沉积有磁性衬底，在磁性衬底上电镀定子线圈、传感电极，沉积防粘结柱和转子支撑柱，微转子通过其的小孔设置在转子支撑柱上。本发明推广了磁悬浮转子微陀螺的运用范围，是可以垂直设置的悬浮系统，采用转子支撑柱，双边定子的三明治式结构，使该种微陀螺更加适宜于微细加工方法来制造与实现，扩大了在方位陀螺上的运用范围。

主权项

1、一种磁悬浮转子方位微陀螺，包括：右基体(1)、两边的定子线圈及传感电极(2)、(4)、(8)、(10)、(11)、(13)、(15)、(17)，磁性衬底(6)、(14)，左基体(18)，防粘结柱(3)、(9)、(12)、(16)，转子支撑柱(5)以及微转子(7)，其特征在于，连接方式为：定子线圈及传感电极(2)、(4)、(8)、(10)、(11)、(13)、(15)、(17)和微转子(7)被密封在左基体(18)、右基体(1)形成的腔体中，在左基体(18)、右基体(1)上沉积有磁性衬底(6)、(14)，在磁性衬底上电镀定子线圈及传感电极(2)、(4)、(8)、(10)、(11)、(13)、(15)、(17)，沉积防粘结柱(3)、(9)、(12)、(16)和转子支撑柱(5)，微转子(7)通过其中央的小孔设置在转子支撑柱(5)上。