| 发明名称 | 微型机电系统可变光衰减器 | ||
| 摘要 | 公开了一种MEMS可变光衰减器，包括具有平面的衬底，安置在衬底的平面上的微电子激励器，一对分别具有接收和发射端的光波导，并且彼此同轴安置成一行并安置在平面上，光闸，可移向光波导的发射端和接收端间的预定位置，并由微电子激励器驱动来移动，以及形成在光闸上的表面层，具有低于80％的反射率以便部分透射其中的入射光束，并具有消光属性，从而根除其中的该部分透射光。 | ||
| 申请公布号 | CN1238758C | 申请公布日期 | 2006.01.25 |
| 申请号 | CN03148429.8 | 申请日期 | 2003.06.27 |
| 申请人 | 三星电机株式会社 | 发明人 | 洪允植;李玲揆;郑成天;尹湘基;李贤基;洪硕基;姜埈锡;李浈铉 |
| 分类号 | G02F1/19(2006.01);G02B6/26(2006.01);H04B10/12(2006.01) | 主分类号 | G02F1/19(2006.01) |
| 代理机构 | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 谢丽娜;谷惠敏 |
| 主权项 | 1.一种微型机电系统(MEMS)可变光衰减器，包括：具有平面的衬底；安置在衬底的平面上的微电子激励器；一对光波导，分别具有接收端和发射端，并同轴安置在平面上；光闸，可移向光波导的接收端和发射端间的指定位置，并由微电子激励器驱动来移动；以及表面层，形成在光闸上，具有低于80％的反射率以便将入射光束部分透射到该表面层中，并具有适合其厚度的消光比，从而根除其中的部分透射光束。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||