| 发明名称 |
METHOD FOR MEASURING THIN FILMS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1618366(A1) |
申请公布日期 |
2006.01.25 |
| 申请号 |
EP20040726878 |
申请日期 |
2004.04.12 |
| 申请人 |
KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
MAZNEV, ALEXEI |
| 分类号 |
G01B11/06;G01N21/17;G01N21/84;G01N29/24;G01N29/44;G01N29/46;(IPC1-7):G01N21/17;G01N21/63 |
主分类号 |
G01B11/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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