Reinigung von elektronischen Spezialgasen durch Dampfphasenumfüllung
摘要
申请公布号
DE69829788(T2)
申请公布日期
2006.01.19
申请号
DE19986029788T
申请日期
1998.01.27
申请人
L'AIR LIQUIDE, S.A. A DIRECTOIRE ET CONSEIL DE SURVEILLANCE POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE;AIR LIQUIDE AMERICA CORP., HOUSTON
