发明名称 Reinigungslösung für Substraten von elektronischen Anordnungen
摘要
申请公布号 DE60024707(D1) 申请公布日期 2006.01.19
申请号 DE20006024707 申请日期 2000.04.19
申请人 KANTO KAGAKU K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ISHIKAWA, NORIO;ABE, YUMIKO;MORI, KIYOTO
分类号 B08B3/08;C11D1/00;C11D1/02;C11D1/66;C11D3/20;C11D7/26;C11D10/02;C11D11/00;C11D17/08;H01L21/304;H01L21/306;H05K3/26 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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