图形检查装置

摘要

本发明提供一种图形检查装置，在通过透射照明拍摄并检查被形成在带状工件上的图形的装置中，即使是宽度宽的工件、或产生弯曲或凹凸的工件，也可将工件的检查部位维持在摄影装置的焦点深度内。图形检查装置具备向带状工件的宽度方向给予张力的工件拉伸机构、及吸附保持通过工件拉伸机构给予张力的带状工件的工作台；该工作台在带状工件两侧的工件拉伸机构的之间，隔开对应于要检查的图形的长度的间隔而设置有多个。

主权项

1、一种图形检查装置，其是利用透射照明光拍摄被形成在薄膜状的带状工件上的图形，并检查该图形的外观的，其特征在于，具备：在上述带状工件的宽度方向上给予张力的工件拉伸机构、及吸附保持上述带状工件的工作台；上述工作台是长边对应于带状工件的宽度方向、而短边对应于长度方向的长方形状，且被设置有多个。