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发明名称
MANUFACTURING METHOD OF SALLOW TRENCH ISOLATION IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
KR20060005504(A)
申请公布日期
2006.01.18
申请号
KR20040054327
申请日期
2004.07.13
申请人
DONGBUANAM SEMICONDUCTOR INC.
发明人
LEE, JAE SUK
分类号
H01L21/762
主分类号
H01L21/762
代理机构
代理人
主权项
地址
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