| 发明名称 |
Apparatus for depositing thin films |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0959150(B8) |
申请公布日期 |
2006.01.18 |
| 申请号 |
EP19990303880 |
申请日期 |
1999.05.18 |
| 申请人 |
IPS LTD |
发明人 |
CHOI, WON-SUNG;OH, KYU-UN |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/44;C23C16/455;H01L21/00;H01L21/20;(IPC1-7):C23C16/44 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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